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탄화규소용 층 전사 기술

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기관명	NDSL
출원인	,
출원번호	10-2016-7017717
출원일자	2016-07-01
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	탄화규소 층을 포함하는 소자 및 그러한 소자를 만들기 위한 방법이 개시된다. 방법은 양성자가 주입된 제1 탄화규소 웨이퍼를 획득하는 단계; 제1 탄화규소 웨이퍼 위에 스핀-온-글라스의 제1 층을 도포하는 단계; 제1 반도체 기판을 획득하는 단계; (ⅰ) 스핀-온-글라스의 제1 층을 (ⅱ) 제1 반도체 기판에 접합하는 단계; 및 탄화규소의 제1 층이 제1 반도체 기판 위에 남아 있도록 제1 탄화규소 웨이퍼의 스플리팅을 개시하기 위해서 제1 탄화규소 웨이퍼를 가열하는 단계를 포함한다. 반도체 소자는 반도체 기판; 반도체 기판 위에 위치되는 스핀-온-글라스의 제1 층; 스핀-온-글라스의 제1 층 위에 위치되는 탄화규소의 제1 층; 탄화규소의 제1 층 위에 위치되는 스핀-온-글라스의 제2 층; 및 스핀-온-글라스의 제2 층 위에 위치되는 탄화규소의 제2 층을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167017717
첨부파일

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