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거친 표면을 가진 기판을 내부적으로 마킹하는 방법 및 장치

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기관명	NDSL
출원인	일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7009575
출원일자	2016-04-12
공개번호	20160811
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	레이저 가공 방법은 표면(42)의 거칠기에 의해 초래될 수도 있던 부정적인 광학 효과를 경감시키기 위하여 기판(44)의 거친 표면(42)에 도포된 코팅 재료(130)를 제공한다. 적절한 파라미터를 지닌 레이저 출력의 레이저 펄스(52)가 코팅 재료 (130)를 통과한 후에 거친 표면(42)을 손상시키는 일 없이 기판(44) 재료를 내부적으로 마킹하기 위하여 지향되고 포커싱될 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167009575
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