평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 로드락 챔버
기관명 | NDSL |
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출원인 | 주식회사 에스에프에이 |
출원번호 | 10-2013-0122368 |
출원일자 | 2013-10-15 |
공개번호 | 20150430 |
공개일자 | 0000-00-00 |
등록번호 | |
등록일자 | 0000-00-00 |
권리구분 | KUPA |
초록 | 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 로드락 챔버가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 평면디스플레이용 화학 기상 증착장치의 로드락 챔버는, 기판이 수용되는 챔버바디; 및 챔버바디에 연결되어 챔버바디의 내부를 진공상태로 유지하는 적어도 하나 이상의 진공유닛; 및 챔버바디에 연결되어 챔버바디의 내부를 대기압상태로 유지하는 적어도 하나 이상의 벤트유닛을 포함하며, 벤트유닛은, 챔버바디의 내부에 배치되되, 벤트가스를 기판의 상부영역에 분사하는 벤트가스 분사모듈; 벤트가스를 공급하는 벤트가스 공급부와 벤트가스 분사모듈을 연결하는 벤트라인; 및 벤트라인에서 분기되어 챔버바디에 연결되되, 벤트가스를 진공유닛을 통하여 배출하도록 벤트라인을 따라 배출되는 벤트가스를 챔버바디로 재유입하는 바이패스라인을 포함한다. |
원문URL | http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020130122368 |
첨부파일 |
과학기술표준분류 | |
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ICT 기술분류 | |
IPC분류체계CODE | C23C-016/44,C23C-016/455,H01L-021/205 |
주제어 (키워드) |