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이물 검사 장치, 노광 장치 및 디바이스 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-0002391
출원일자	2016-01-08
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	이물 검사 장치는, 투광 위치로부터 피검물에 대하여 검사광이 사입사하도록 상기 검사광을 투광하는 투광부와, 상기 검사광에 의해 발생하는 상기 이물의 산란광을 수광 위치에서 수광하는 수광부와, 상기 수광부의 수광 결과를 처리하여 상기 이물에 관한 정보를 구하는 처리부를 포함한다.상기 투광 위치 및 상기 수광 위치의 상대 위치는, 서로 다른 제1 배치 관계 및 제2 배치 관계로 되는 것이 가능하다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160002391
첨부파일

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