| 초록 |
본 발명은 다중경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템에 관한 것이다. 상기 플라즈마 진단 시스템은, 플라즈마 내의 서로 다른 영역에 광집속되는 제1 및 제2 광집속부를 구비하고, 상기 광원으로부터 제공된 레이저 빔 펄스를 이용하여, 제1 및 제2 광집속부에 수직 편광 상태의 레이저 빔 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 빔 펄스를 제공하는 광학계; 상기 제1 광집속부에 의해 집속된 레이저 빔 펄스에 의해 플라즈마에서 산란된 신호들을 집광한 제1 집광 신호 및 상기 제2 광집속부에 의해 집속된 레이저 빔 펄스에 의해 플라즈마에서 산란된 신호들을 집광한 제2 집광 신호를 측정하여 제공하는 집광계; 및 상기 집광계에 의해 측정된 제1 및 제2 집광 신호들을 이용하여, 플라즈마에 대한 톰슨 산란 신호를 측정하는 제어부;를 구비하고, 상기 제1 및 제2 집광 신호는 집속된 레이저 빔 펄스의 편광 상태에 따라 톰슨 산란 신호와 배경 산란 잡음 신호가 혼합되어 구성된 혼합 신호 및 배경 산란 잡음 신호 중 하나로 구성된다. 본 발명에 따른 다중경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템은 플라즈마의 서로 다른 2 영역에 레이저 빔 펄스를 광집속하여 다중경로로 산란을 발생시키고, 플라즈마로부터 산란된 신호들을 다중으로 측정함으로써, 정확한 산란 신호들의 측정이 가능하다. |
