| 초록 |
본 발명은 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템에 관한 것이다. 상기 플라즈마 진단 시스템은, 광원으로부터 제공된 레이저 빔 펄스를 이용하여, 수직 편광 상태의 레이저 빔 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 빔 펄스를 순차적으로 플라즈마로 제공하는 광학계; 상기 광학계로부터 제공된 수직 편광 상태의 레이저 빔 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 산란된 제1 집광 신호를 측정하고, 상기 광학계로부터 제공된 수평 편광 상태의 레이저 빔 펄스가 집속되었을 때 플라즈마에서 여기된 제2 집광 신호를 측정하는 집광계; 및 상기 집광계에 의해 측정된 제1 및 제2 집광 신호들을 이용하여, 플라즈마에 대한 톰슨 산란 신호를 측정하는 제어부;를 구비하고, 상기 제1 집광 신호는 톰슨 산란 신호와 배경 산란 잡음 신호가 혼합된 신호이며, 제2 집광 신호는 배경 산란 잡음 신호로 구성된다. 본 발명에 따른 다중 왕복경로 톰슨 산란을 이용한 플라즈마 진단 시스템은 플라즈마 내부로 수직 편광 상태의 레이저 빔 펄스와 수평 편광 상태의 레이저 빔 펄스를 순차적으로 제공하여 플라즈마로부터 산란된 신호들을 측정함으로써, 배경 산란 잡음 신호가 제거된 톰슨 산란 신호를 정확하게 측정하는 것을 특징으로 한다. |
