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안정성이 향상된 CW DUV 레이저

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기관명	NDSL
출원인	케이엘에이-텐코 코포레이션
출원번호	10-2016-7000553
출원일자	2016-01-08
공개번호	20160218
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	심자외선(deep ultra-violet; DUV) 연속파(continuous wave; CW) 레이저는 약 1㎛와 1.1㎛ 사이의 대응하는 파장을 지닌 기본 주파수를 발생하도록 구성된 기본 CW 레이저, 3차 고조파 및 선택적인 2차 고조파를 발생하는 하나 이상의 주기적으로 폴링된(poled) 비선형 광학(non-linear optical; NLO) 결정을 포함하는 3차 고조파 발생기 모듈, 및 4차 고조파 발생기 모듈과 5차 고조파 발생기 모듈 중 하나를 포함한다. 4차 고조파 발생기 모듈은 기본 주파수와 3차 고조파를 조합하여 4차 고조파를 발생하도록 구성된 기본 주파수에서 공진하는 캐비티를 포함한다. 4차 고조파 발생기 모듈은 기본 주파수와 3차 고조파를 조합하여 5차 고조파를 발생하도록 구성된 기본 주파수에서 공진하는 캐비티, 또는 2차 고조파와 3차 고조파를 조합하여 5차 고조파를 발생하도록 구성된 2차 고조파 주파수에서 공진하는 캐비티를 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167000553
첨부파일

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