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금속 산화물막의 제조 방법, 금속 산화물막, 박막 트랜지스터, 표시 장치, 이미지 센서 및 X선 센서

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기관명	NDSL
출원인	후지필름 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7007361
출원일자	2016-03-21
공개번호	20160428
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 금속 질산염을 포함하는 용액을 기판 상에 도포하고, 도포막을 건조하여 금속 산화물 전구체막을 형성하는 공정과, 금속 산화물 전구체막을 금속 산화물막으로 전화하는 공정을 교대로 N회(N≥2) 반복하는 것을 포함하며, (n-1)회째(2≤n≤N)에 금속 산화물 전구체막을 형성하는 공정에 이용하는 금속 질산염을 포함하는 용액의 금속 몰 농도를 C n -1 (mol/L), n회째에 금속 산화물 전구체막을 형성하는 공정에 이용하는 금속 질산염을 포함하는 용액의 금속 몰 농도를 C n (mol/L)으로 했을 때에, 1 gt;(C n /C n - 1 )의 관계를 충족하는 적어도 2회의 공정을 포함하는 금속 산화물막의 제조 방법 및 이것에 의하여 제조된 금속 산화물막 그리고 그것을 구비한 디바이스를 제공한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167007361
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