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광학 조립체, 특히 플라즈마 광원 또는 EUV 리소그래피 시스템

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기관명	NDSL
출원인	칼 짜이스 에스엠테 게엠베하
출원번호	10-2016-7010588
출원일자	2016-04-22
공개번호	20160603
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 광학 조립체, 특히 플라즈마 광원(1') 또는 EUV 리소그래피 시스템에 관한 것이며, 이는 내부 하우징 공간(3)을 둘러싸는 하우징(2), 상기 하우징(2) 내에 진공을 발생시키기 위한 진공 발생 유닛, 상기 하우징 내부(3)에 배치되는 하나 이상의 표면(13), 상기 표면(13)에 퇴적된 오염 물질(14)을 제거하기 위한 세정 디바이스(15), 및 상기 표면(13)을 모니터링하기 위한 모니터링 디바이스(25)를 포함하고, 상기 모니터링 디바이스(25)는 상기 표면(13)을 향해서 배향될 수 있는 모니터링 광학 유닛(26)을 갖는다.상기 세정 디바이스(15)는 CO 2 를 CO 2 펠릿(17) 형태로 배출함으로써 상기 퇴적된 오염 물질(14)을 제거하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167010588
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