| 초록 |
바람직한 모듈식 마이크로플라즈마 마이크로채널 반응기 디바이스는 플라즈마 생성을 위한 전극들에 대하여 배치되며, 상기 전극들로부터 유전체에 의해 격리된 마이크로채널 어레이를 포함한다. 커버는 상기 마이크로채널 어레이의 중앙부를 덮으면서, 상기 마이크로채널 어레이의 단부들은 노출시킨다. 기체 유입구 및 생성물 배출구는 상기 마이크로채널 어레이 내로, 상기 마이크로채널 어레이를 통하여, 그리고 상기 마이크로채널 어레이의 밖으로 플로우(flow)를 허용하도록 배치된다. 본 발명의 반응기 모듈들은 복수의 모듈식 반응기 디바이스들을 포함한다. 상기 반응기 디바이스들은 하우징 또는 프레임에 의해 유체 상통되도록 배열될 수 있다. 본 발명의 시스템들은 복수의 모듈들을 배열한다. 바람직한 모듈 하우징들, 프레임들, 및 반응기들은 정렬들 및 연결들을 형성하기 위해 구조적인 요소들을 포함한다. 바람직한 모듈들은 공급물과 반응 생성물을 순환시키기 위해 팬들을 포함한다. 다른 반응기 디바이스들은 플로우를 위한 플라즈마 액추에이션을 제공한다. |
