| 초록 |
본 발명은, 부품의 결함을 광학적으로 검출하기 위한 광학 검출기가 구성되고, 검사 대상체를 소정 간격으로 이동시키기 위한 구동부에 의해 상기 검출 대상체가 놓여지는 이송 플레이트를 이송 및 정지시켜 검사를 실시하기 위한 인라인 스테이지에 있어서, 승/하강하여 상부에 검사 대상체가 놓여진 상기 이송 플레이트를 검사 위치로 이송시키거나 반출시키는 컨베이어부; 및 상기 이송 플레이트에 놓여진 검사 대상체를 흡착 고정하거나 흡착 해제하기 위해 상기 이송 플레이트를 지지하는 상기 컨베이어부를 승/하강 시키는 승/하강 구동부;를 포함하고, 상기 이송 플레이트는, 길이방향과 수직하게 나란히 배열되는 다수개의 플레이트와, 상기 플레이트의 하부에 구비되어 상기 다수개의 플레이트를 연결하는 연결부를 포함하고, 상기 다수개의 플레이트가 배열될 때 각각 일정 간격을 두고 배열되어 플레이트 사이마다 일정 공간이 형성되며, 상기 플레이트 사이마다 형성된 일정 공간은 상기 컨베이어부의 컨베이어 롤러와 컨베이어부를 지지하는 지지부가 지지되는 지지공간으로 적용된다. |
