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패턴 형상을 갖는 막의 형성 방법, 광학 부품의 제조 방법, 회로 기판의 제조 방법, 및 전자 부품의 제조 방법

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기관명	NDSL
출원인	캐논 가부시끼가이샤
출원번호	10-2016-7010639
출원일자	2016-04-22
공개번호	20160609
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	몰드 및 기판의 얼라인먼트 마크가 정확하고 간단히 검출되게 하는 방법이 제공되며, 따라서 패턴 형상을 갖는 막의 형성 방법에 높은 처리량을 제공하며, 또한 광학 부품의 제조 방법, 회로 기판의 제조 방법, 및 전자 부품의 제조 방법을 제공한다.패턴 형상을 갖는 막은 광-나노임프린트에 의해 형성된다. 이 방법에서, 가스는 다음의 부등식(1)을 만족한다.부등식(1)에서, n R 은 광의 파장에서의 가스를 포함하지 않는 조성물의 굴절율을 나타내고, n R ' 은 가스의 파장에서의 가스를 포함하는 광경화성 조성물의 굴절율을 나타내고, n M 은 광의 파장에서의 몰드의 굴절율을 나타낸다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167010639
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