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보호된 백킹 플레이트를 가지는 물리 기상 증착 타겟

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2013-7023437
출원일자	2013-09-04
공개번호	20140417
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본원 발명의 실시예들은 물리 기상 증착(PVD)에서 이용되는 스퍼터링 타겟들 및 그러한 스퍼터링 타겟들을 형성하기 위한 방법들을 제공한다.일 실시예에서, 스퍼터링 타겟은 백킹 플레이트 상에 배치된 타겟 층, 및 PVD 프로세스들 중에 플라즈마에 노출될 수 있는 백킹 플레이트의 영역을 덮고 보호하는 - 일반적으로 니켈 재료를 포함하는 - 보호용 코팅 층을 포함한다.많은 예들에서, 타겟 층이 니켈 합금을 포함하고, 백킹 플레이트는 구리 합금(예를 들어, 구리-아연 합금)을 포함하고, 그리고 보호용 코팅 층은 금속 니켈을 포함한다.보호용 코팅 층은, 전형적으로 백킹 플레이트의 노출된 표면들 내에 포함된 구리 합금의 플라즈마 침식에 의해서 유도되는, 높은 전도성의 구리 오염물질의 형성을 배제한다.그에 따라, PVD 프로세스들 동안에 기판들 및 PVD 챔버의 내부 표면들이 그러한 구리 오염물질들이 없이 유지된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020137023437
첨부파일

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