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유리에서 홀의 빠른 레이저 드릴링을 위한 방법 및 이로부터 만들어진 제품

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기관명	NDSL
출원인	코닝 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7019343
출원일자	2016-07-15
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	재료에 홀의 형성은 빔 전파 방향을 따라 배향되고 재료로 향해진 레이저 빔 초점 선으로 펄스 레이저 빔을 초점 맞추는 단계로서, 상기 레이저 빔 초점 선은 상기 재료 내에서 유도 흡수를 발생시키고, 상기 유도 흡수는 상기 재료 내에서 레이저 빔 초점 선을 따라 결함 라인을 생성하는 초점 맞추는 단계; 및 상기 레이저 빔과 재료를 서로에 대하여 병진 이동시키고, 이에 의해 다수의 결함 라인을 형성하는 병진 이동 단계; 및 상기 재료를 산 용액에서 에칭시켜 상기 재료에서 결함 라인을 확대하여 1 micron을 초과하는 직경의 홀을 생성하는 에칭 단계를 포함한다. 유리 제품은 유리 기판의 스택을 통해 연장하는 1-100 micron 직경의 형성 홀을 갖는 유리 기판의 스택을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167019343
첨부파일

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