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방사선 이미지 센서

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기관명	NDSL
출원인	하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7016388
출원일자	2016-06-20
공개번호	20160818
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	방사선 이미지 센서(1A)는 전하 발생부(4)와, 전하 발생부(4)에서 발생한 전하를 축적하고 전송하는 회로 기판(3)을 구비한다. 회로 기판(3)은 반도체 기판(10)과, 전하 발생부(4)에서 발생한 전하를 축적하는 용량부(5)와, 반도체 기판(10) 위에 배치되어 있는 MOS형 트랜지스터(7)를 가진다. MOS형 트랜지스터(7)는 용량부(5)에 접속되어 있는 일단과, 전하를 전송하기 위한 배선에 접속되어 있는 타단을 포함한다. 용량부(5)는 반도체 기판(10)의 일부 영역(10b)과, 일부의 영역(10b) 위에 배치됨과 아울러 전하 발생부(4)와 전기적으로 접속된 도전체층(31)과, 일부의 영역(10b)과 도전체층(31)의 사이에 끼어 있는 절연층(22)을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167016388
첨부파일

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