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다이아몬드 막의 접합 방법

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기관명	NDSL
출원인	한국과학기술연구원
출원번호	10-1993-0005997
출원일자	1993-04-09
공개번호	20080509
공개일자	1995-07-10
등록번호	10-0090040-0000
등록일자	1995-10-10
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 적은 크기의 다이아몬드 막을 산소-아세틸렌법으로 상호 접합하여 넓은 면적의 다이아몬드 막을 제조하는데 적합한 다이아몬드 막의 접합방법에 관한 것이다. 본 발명은 기존의 고온 필라멘트 화학 증착법 등의 기상합성 방법을 이용하여 기판상에 경사모서리면을 갖는 다이아몬드 막을 합성하여 이들 기판이 부착된 다이아몬드 막을 기판지지대 위에 좌우로 배열한 후, 산소-아세틸렌 토치의 환원염으로 경계면에 다이아몬드의 합성이 일어나도록 하여 다이아몬드 막 간의 연결 결합이 이루어지도록 함으로써 대면적의 다이아몬드 박막 또는 후막이 얻어지게 된다. 본 발명은 넓은 면적의 다이아몬드 막의 합성을 손쉽게 행할 수 있어 다이아몬드 막의 산업적 응용범위를 확대시킬 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1019930005997
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