| 초록 |
본 발명에 따르면, 마스크(Mask)를 사용하는 증착 챔버(Chamber)가 마스크 세정을 위해 진공 분위기를 벗어나고 세정 된 마스크를 다시 사용하기 위해서는 다시 증착 챔버를 진공 분위기로 조성해야 하는 불필요한 시간 소요와 세정 후, 대기의 파티클(Particle)이 대기 중에 노출된 마스크에 부착되어 세정의 효과가 떨어지고 세정 된 후, 파티클이 부착된 마스크가 유기 증착과정에서 유기 증착의 불량과 OLED생산 효율을 떨어뜨리는 원인이 되는바, 이 원인을 해결하기 위해 진공 분위기 안에서 마스크 세정과 세정 된 마스크를 유기 증착 챔버 및 메탈(Metal) 증착 챔버에 각각 이동되는 건식세정공정을 구비하는 유기 증착 마스크의 플라즈마(Plasma) 건식세정을 위한 시스템을 통하여 OLED생산 효율을 높이는데 효과와 플라즈마 건식세정방식을 이용하여 습식세정방식에서 많이 사용한 화학물질의 소모의 양을 줄이고 사용된 물질의 폐기의 어려움 및 환경오염 및 안정성의 문제를 유발시키지 않고 마스크에 부착된 파티클만 제거할 수 있도록 하는 친환경적인 건식세정 시스템을 제공하는데 효과가 있는 마스크 건식세정 챔버를 포함하는 증착 시스템. |
