| 기업공감원스톱서비스

피에칭층을 에칭하는 방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	도쿄엘렉트론가부시키가이샤
출원번호	10-2016-7008370
출원일자	2016-03-29
공개번호	20160728
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	피처리체의 피에칭층을 에칭하는 방법이 제공된다. 피처리체는 피에칭층 위에 마스크를 가지고 있다. 피에칭층 및 마스크는 아르곤의 원자 번호보다도 큰 원자 번호를 가지는 희가스의 플라즈마에 의한 에칭 효율이, 아르곤 가스의 플라즈마에 의한 에칭 효율보다도 높은 재료로 구성되어 있다. 또, 마스크는 피에칭층의 융점보다도 높은 융점을 가지는 재료로 구성되어 있다. 이와 같은 피처리체에 대해서, 본 방법은 아르곤의 원자 번호보다도 큰 원자 번호를 가지는 제1 희가스를 포함하는 제1 처리 가스의 플라즈마에 상기 피처리체를 노출하는 공정(a)과, 아르곤의 원자 번호보다도 작은 원자 번호를 가지는 제2 희가스를 포함하는 제2 처리 가스의 플라즈마에 상기 피처리체를 노출하는 공정(b)을 포함한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167008370
첨부파일

기업조회