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멀티 하전 입자빔의 블랭킹 장치 및 멀티 하전 입자빔 묘화 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지
출원번호	10-2014-0157014
출원일자	2014-11-12
공개번호	20150521
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명의 일태양의 멀티 하전 입자빔의 블랭킹 장치는, 2 차원으로 배열된 복수의 시프트 레지스터와, 2 차원으로 배열된 상기 복수의 시프트 레지스터 중, 각각, 동일한 행 혹은 동일한 열로 배열되는 제1 시프트 레지스터군이 1 이상의 그룹으로 그룹화된 제2 시프트 레지스터군마다 1 개씩 배치된 복수의 데이터 송신기를 구비하고, 각 그룹은 또한 각각 복수의 서브 그룹으로 서브 그룹화되고, 서브 그룹마다, 서브 그룹을 구성하는 제3 시프트 레지스터군이 직렬 접속되고, 복수의 데이터 송신기는, 각각, 대응하는 그룹 내의 모든 서브 그룹이 병렬로 접속되도록, 제3 시프트 레지스터군마다의 직렬 접속된 각 1 개로 접속되는 것을 특징으로 한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020140157014
첨부파일

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