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컴팩트한 앰플 열 관리 시스템

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7021711
출원일자	2016-08-09
공개번호	20160825
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판 처리에서 이용하기 위한 프리커서의 열 관리를 위한 장치가 여기에 제공된다.일부 실시예들에서, 기판 처리에서 이용하기 위한 프리커서의 열 관리를 위한 장치는, 액체 또는 고체 프리커서가 내부에 배치되어 있는 저장 컨테이너를 수용하기 위한 크기의 개구를 갖는 바디 - 바디는 열 전도성 재료로 제조됨 - ; 개구 부근에서 바디에 연결된 하나 이상의 열전기 디바이스; 및 하나 이상의 열전기 디바이스에 연결된 히트 싱크를 포함할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167021711
첨부파일

기업조회