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국부적으로 가열되는 다-구역 기판 지지부

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2016-7005977
출원일자	2016-03-04
공개번호	20160422
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 개시의 실시예들은, 방위각 방향 온도 제어를 갖는 정전 척(ESC)을 제공한다.일 실시예에서, 정전 척은, 절연성 베이스, 절연성 베이스 상에 배치된 유전체 층 ― 유전체 층은 기판 지지 표면을 가짐 ―, 절연성 베이스와 기판 지지 표면 사이에 배치된 전극 어셈블리, 및 절연성 베이스에 커플링된 복수의 가열 엘리먼트들을 포함하고, 가열 엘리먼트들은, 기판 표면에 걸친 온도 프로파일을 방위각 방향으로 제어하도록 구성된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167005977
첨부파일

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