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반도체 평가 장치 및 컴퓨터 프로그램

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 히다치 하이테크놀로지즈
출원번호	10-2014-7021799
출원일자	2014-08-04
공개번호	20141002
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은, 비교 검사 등에 사용하는 참조 패턴을 적정하게 작성하는 반도체 평가 장치의 제공을 목적으로 한다.반도체 평가 장치 및 컴퓨터 프로그램을 설명한다.또한, 패턴의 2차원 평가에 기초하여, 보다 정확한 범위의 프로세스 윈도우를 추출하는 것을 다른 목적으로 하는 반도체 평가 장치 및 컴퓨터 프로그램을 설명한다.상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에서는, 하전 입자선 장치에 의해 얻어진 신호에 기초하여, 시료 상에 형성된 패턴의 치수 측정을 행하고, 그 치수 측정 결과가 소정의 조건을 만족하는 패턴, 혹은 그 패턴을 형성했을 때의 노광 조건을 선택하고, 그 선택된 노광 조건으로 작성된 패턴, 혹은 그 선택된 패턴과 기지의 위치 관계에 있는 패턴으로서, 설계 데이터상, 동일 형상의 패턴 화상으로부터 얻어지는 윤곽선 데이터를 합성하여, 합성 윤곽선 데이터를 형성하는 반도체 평가 장치를 제안한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147021799
첨부파일

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