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AOD 이동 저감을 위한 AOD 툴 정착을 위한 레이저 시스템 및 방법

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기관명	NDSL
출원인	일렉트로 싸이언티픽 인더스트리이즈 인코포레이티드
출원번호	10-2015-7022813
출원일자	2015-08-21
공개번호	20151126
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	레이저 시스템 및 방법은 각 툴링 작업 전후에 정착 시간을 삽입한다. 피크 AOD 편위는 일반적으로 피처간 이동과 툴링 이동 간의 속도 전이를 일으킨다. 이 전이는 툴링 전(툴링 개소에 대한 접근 시)과 툴링 후(완료된 툴링 개소에서 다른 개소로의 출발 시) 둘 다에서 일어난다. 툴링 기간의 각 말기에 정착 시간을 부가함으로써, AOD 편위는 하한값으로 정착되도록 허용된다. 이것은 이어서 시스템의 AOD 구성의 경계 내에서 AOD 이동 편위를 유지하면서 (높은 처리량을 위하여) 더 높은 툴링간 속도를 허용한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157022813
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