| 초록 |
본 발명은 매끄러운 및/또는 돔-모양 단면을 가진 유전체, 도체 및/또는 반도체 층들을 구비한 전기적으로 활성인 디바이스들(예를 들어, 커패시터, 트랜지스터, 다이오드, 플로팅 게이트 메모리 셀 등) 및 반도체, 금속 또는 유전체 전구체를 포함하는 잉크 조성물을 증착 또는 인쇄(예를 들어, 잉크젯 인쇄)함으로써 이런 디바이스들을 형성하는 방법에 관한 것이다. 매끄러운 및/또는 돔-모양 종단면은 날카로운 단차 없이 매끄러운 지형 변화를 허용하여, 증착하는 동안 피처 균열을 방지하고 뒤이어 증착된 구조들의 더욱 완벽한 단차 피복성을 허용한다. 본 발명의 단면은 열 산화에 의한 산화물 층들의 균일한 성장 및 구조들의 실질적으로 균일한 식각 속도를 허용한다. 이런 산화물 층들은 균일한 두께를 가질 수 있고 하부의 전기적으로 활성인 피처의 실질적으로 완벽한 피복성을 제공할 수 있다. 균일한 식각은 단순한 등방성 식각에 의해 전기적으로 활성인 구조의 임계 치수를 줄이는 효과적인 방법을 허용한다. |
