| 초록 |
본 발명은 유리 식각 공정을 위한 약액 온도 및 농도 조절 장치에 관한 것으로서, 약품원액을 저장하는 약액 탱크; 에칭액을 저장하는 에칭액 탱크; 상기 약액 탱크와 에칭액 탱크 사이에 설치되는 공급 배관; 상기 약액 탱크 내의 약액을 상기 공급 배관으로 공급하는 공급 펌프; 상기 약액 탱크와 에칭액 탱크에서 액체의 양을 계측하고 조절할 수 있는 유량계와 제1 자동밸브; 상기 에칭액 탱크를 연결하는 순환 배관 및 이에 구비된 제2 자동밸브; 상기 에칭액 탱크의 내부에 설치하여 온도를 감지하는 온도 센서; 상기 에칭액 탱크와 연결되고, 상기 온도 센서에서 감지한 온도 정보에 따라 가열수 또는 냉각수가 상기 에칭액 탱크 내에서 순환되어 온도를 조절하는 온도 조절 유닛; 상기 약액의 공급량을 설정하는 조작장치; 및 상기 제1 및 제2 자동밸브와 상기 공급 펌프 및 계기의 온/오프(ON/OFF) 동작에 필요한 정보를 인식 및 판단하고, 그 결과에 따른 제어신호를 출력하여 자동 운전하도록 이용하는 PLC(Programmable Logic Controller) 프로그램을 내장하고, 상기 약액 유입시 상기 유량계 동작에 의해 작동되는 적산 지시계를 포함하며, 상기 적산 지시계를 통한 PLC I/O(Input/Output) 접점 방식으로 상기 약액의 정량 공급을 수행한 후 상기 온도 조절 유닛에 의해 일정한 온도로 제어하는 제어 패널을 포함한다. 따라서 본 발명은 PLC 프로그램 제어에 의해 약액의 정량 공급하는 동시에 온도 조절 유닛에 의해 에칭액 탱크 내부의 온도를 적정 상태로 유지할 수 있어 유리 식각 공정 중 공정 시간을 단축할 수 있고, 표면 품질 및 식각 두께를 균일하게 조절하여 생산량이 향상될 수 있으며, 일정하게 온도가 조절될 수 있어 장비의 내구성이 향상될 수 있다. |
