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조명 광학계, 노광 장치 및 노광 방법

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기관명	NDSL
출원인	가부시키가이샤 니콘
출원번호	10-2016-7020265
출원일자	2016-07-25
공개번호	20160808
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	펄스 발광되는 조명광의 이용 효율을 높게 유지하여, 구성을 복잡화하지 않고 조명광의 공간 코히런시(coherency)에 기인하는 조도 불균일의 영향을 경감할 수 있는 조명 광학 장치이다.펄스 발광되는 조명광(IL)을 이용하여 피조사면을 조명하는 조명 광학계(ILS)에 있어서, 조명광(IL)이 입사하는 위치에 따라서 조명광(IL)에 공간적인 변조를 가하는 복수의 미러 요소(3)를 포함하는 공간 광변조기(13)와, 조명광(IL)이 적어도 하나 펄스 발광될 때마다, 조명광(IL)의 각각의 강도 분포가 소정면에서 실질적으로 대략 동일한 강도 분포가 되도록 복수의 미러 요소(3)에 의해서 조명광(IL)에 서로 다른 공간적인 변조를 가하는 변조 제어부(31)를 구비한다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020167020265
첨부파일

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