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결정질 실리콘 태양 전지들을 패시베이팅하기 위한 진보된 플랫폼

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기관명	NDSL
출원인	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
출원번호	10-2014-7020017
출원일자	2014-07-17
공개번호	20141002
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	본 발명은 일반적으로, 태양 전지 디바이스의 하나 또는 그 초과의 영역들을 형성하는 데에 이용되는, 높은 처리량의 기판 프로세싱 시스템을 제공한다.프로세싱 시스템의 하나의 구성에 있어서, 높은 처리량의 기판 프로세싱 시스템 내에 포함되는 하나 또는 그 초과의 프로세싱 챔버들 내에서 하나 또는 그 초과의 태양 전지 패시베이팅 또는 유전체 층들이 증착되고 추가로 프로세싱된다.프로세싱 챔버들은, 예를 들어, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 챔버들, 저압 화학 기상 증착(LPCVD) 챔버들, 원자 층 증착(ALD) 챔버들, 물리 기상 증착(PVD) 또는 스퍼터링 챔버들, 열 프로세싱 챔버들(예를 들어, RTA 또는 RTO 챔버들), 기판 재배향 챔버들(substrate reorientation chambers)(예를 들어, 플립핑 챔버들(flipping chambers)) 및/또는 다른 유사한 프로세싱 챔버들일 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020147020017
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