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선택적 에피택셜 성장된 III-V족 재료 기반 디바이스

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기관명	NDSL
출원인	인텔 코포레이션
출원번호	10-2015-7032315
출원일자	2015-11-11
공개번호	20160512
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	제1 III-V족 재료 기반 버퍼층은 실리콘 기판 상에 퇴적된다.제2 III-V족 재료 기반 버퍼층은 제1 III-V족 재료 기반 버퍼층 상에 퇴적된다.III-V족 재료 기반 디바이스 채널층은 제2 III-V족 재료 기반 버퍼층 상에 퇴적된다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020157032315
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