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검사방법

기관명, 출원인, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 권리구분, 초록, 원본url, 첨부파일 순으로 구성된 표입니다.
기관명	NDSL
출원인	주식회사 고영테크놀러지
출원번호	10-2016-0082495
출원일자	2016-06-30
공개번호	20160714
공개일자	0000-00-00
등록번호
등록일자	0000-00-00
권리구분	KUPA
초록	기판을 검사하기 위하여, 먼저 기판 상에 측정영역을 설정하고, 측정영역에 대한 기준 데이터를 획득한다. 이어서, 측정영역에 대한 측정 데이터를 컬러별로 획득하고, 측정영역에 대하여 획득된 기준 데이터 및 컬러별 측정 데이터를 이용하여 조명조건을 설정한다.다음으로, 측정영역에 대하여 특징객체를 설정하고, 특징객체에 대응하는 기준 데이터와 설정된 조명조건에 따른 특징객체에 대응하는 측정 데이터를 비교하여, 기준 데이터와 측정 데이터 사이의 왜곡량을 획득한다.이어서, 왜곡량을 보상하여 측정영역 내의 검사영역을 설정한다.이에 따라, 왜곡을 보상한 정확한 검사영역을 설정할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KUPA&cn=KOR1020160082495
첨부파일

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