| 초록 |
본 발명은 육불화황 가스를 이용한 탄소코일의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 탄소코일 제조 시, 기판의 형상을 메쉬-타입으로 변형하여 촉매를 사용하지 않고도 마이크로 탄소코일을 제조하는 동시에, 육불화황 가스의 주입시간을 변화시켜 마이크로 탄소코일을 형성 및 성장시키는 것으로 촉매 없이 육불화황 가스를 이용하여 마이크로 탄소코일을 제조하는 방법에 관한 것으로, 화학기상 증착장비를 이용하여 챔버 내에 메쉬-타입의 스텐리스 기판을 장착하는 단계, 상기 챔버 내에 장착된 기판을 일정 온도로 가열하고, 탄화수소가스, 수소가스, 육불화황 가스를 일정 속도로 챔버 내로 주입하는 단계, 상기 챔버 내에서 메쉬-타입의 스텐리스 기판과 주입된 혼합 가스가 반응하여 마이크로 탄소코일을 형성하는 단계 및 성장하는 단계;를 포함하는 메쉬-타입의 스텐리스 기판만을 이용한 마이크로 탄소코일 제조방법에 관한 것이며, 수요 산업의 특성에 맞는 맞춤식 마이크로 탄소코일을 제조하여 각 산업의 핵심 부품재료로 사용할 수 있는 것이다. |
