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박막형 액체금속 전극, 순차적 증착 방식을 이용한 그의 제조방법 및 그로부터 제조된 전극을 이용한 신축성 전자장치

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기관명	NDSL
출원인	한국과학기술원
출원번호	10-2023-0018876
출원일자	2023-02-13
공개번호	20231116
공개일자	2023-11-14
등록번호	10-2601704-0000
등록일자	2023-11-08
권리구분	KPTN
초록	본 발명은 박막형 액체금속 전극, 순차적 증착 방식을 이용한 그의 제조방법 및 그로부터 제조된 전극을 이용한 신축성 전자장치에 관한 것이다. 본 발명의 박막형 액체금속 전극은 표면 처리된 신축성 기판상에 적어도 2종의 액체금속 나노클러스터가 산화막을 사이에 두고 순차적으로 겹쳐진 오버레이 구조로 증착된 박막형 액체금속 전극을 제공하고, 상기 적어도 2종의 액체금속 나노클러스터가 직접 접촉되지 않는 구조로 제조되고 기계적 변형에 의해 상기 산화막이 파괴되면서 두 액체금속 나노클러스터 사이에 추가적인 전기 경로가 생성되어 초기 50% 연신시 저항이 최대 85%까지 감소된 음의 압전저항성 특성을 구현함으로써, 상기 박막형 액체금속 전극을 이용하여 태양 전지, 디스플레이, 바이오 센서, 유연/신축성소자 등 다양한 응용 분야에 적용할 수 있다.
원문URL	http://click.ndsl.kr/servlet/OpenAPIDetailView?keyValue=03553784&target=KPTN&cn=KOR1020230018876
첨부파일

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