| 초록 |
□ 연구개발 목표 및 내용 ◼ 최종 목표 국내 기술로 개발된 광/전자 융합 현미경 시스템의 안정적 구축과 성능 최적화를 통해, 고민감성 첨단소재의 전자빔 분석 한계를 극복하고, 고분해능 미세구조/물성 동시 분석연구를 수행하여 분석 장비를 활용한 공동연구 활성화를 목표로 함. ◼ 전체 내용 사업 1차년도는 광/전자 융합 현미경의 안정적인 도입을 목표로 하며, 2차, 3차년도는 광/전자 융합 현미경 이미징의 분석 구현과 향상된 분석기술의 연구개발을 통해 첨단소재 분석 관련 공동연구를 수행함. □ 연구개발성과 ▪ 저차원 소재의 에피택셜 및 다각도 트위스트 이종접합 구조의 원자구조 최초 규명의 선행 연구 결과 획득 및 전자 구조 변화 예측, 음극선 발광 적용의 중요성 및 분석 예상도 최초 제시. ▪ 실시간 가열 라만 분광법 적용 금속 유기골격체(호스트) 내 게스트 소재의 열적 진동 거동 확인, 호스트 및 H2O 게스트 분자의 원자 구조 세계 최초 시각화. ▪ 머신 러닝 적용 광/전자 이미징 스펙트럼 데이터 배경 노이즈 제거 최초 구현 및 스펙트럼 데이터 분석 신뢰성 제고. □ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과 ▪ 광/전자 융합현미경은 광학현미경의 장점인 매크로 단위 시료 위치 탐색과 전자현미경의 장점인 나노 단위 미세구조 분석이 동시에 가능하여 고민감성 소재 연구에 유용하게 활용될 것임. ▪ CL-, Raman-SEM 이미징을 활용하여 전자빔에 취약한 소재의 국소 영역 미세구조 분석, 화학적 성분 분석을 통한 기존 화학조성 분석의 단점을 보완할 수 있음. ▪ 고분해능 CL-SEM 이미징을 통해 재료 결함 및 물리·전자적 특성 확인으로 반도체 소자 결함 확인에 적용 가능함. ▪ 기존 분광학 장비의 분해능 한계를 머신러닝으로 극복하여 나노 단위 공정 소재의 구조/화학적/물리적/전자적 분석에 적용될 수 있음. ▪ 국내 기술로 개발된 광/전자 융합현미경의 구축 및 분석 안정화, 장비 활용 노하우를 확보하여 자율 사용에 대한 진입 장벽이 큰 고도화 분석 장비의 원활한 공동활용을 실현함. (출처 : 요약문 2p) |
