| 초록 |
연구목표 ◦ 나노스케일 형상측정 및 극미량 성분분석의 어려움을 겪고 있는 연성물질(soft matter)에 대하여 전자빔 및 이온빔 기반의 측정 및 가공기술을 개발 한다. 현재 불가능한 상태의 형상측정, 분광측정, 성분측정 등을 포함한 융합측정 원천기술을 발굴하고 첨단측정장비기술을 가속화 하여 연성물질에 대한 나노가공, 나노조작, 나노분석, 등의 연구능력을 향상. ◦ 차세대 나노소자용 한계극복의 나노측정기술 개발을 통하여, 신구조 및 신물질 기반에 의한 혁신적 발전이 예상되는 차세대 나노기술에 대응하고, 핵심요소기술인 나노형상 및 나노물성 측정기술을 연구 개발하여 양자전자 소자, 유연소자, 신약개발, 질병진단 등의 신제품들의 창출을 촉발시키며, 측정과학 뿐만 아니라 측정 표준 및 측정장치의 요소기술을 개발 연구내용 ◦ 나노측정 요소기술개발 중과제는 '하전입자기반 연성물질 측정기술 개발'과'차세대 나노소자 핵심측정기술 개발' 2개의 소과제로 구성되어 4가지 분야 기술을 개발. 1. 하전입자빔 측정장비 요소기술 개발 - 전자원의 특성평가 장비 개발 및 전자원 평가 - 융합현미경용 이온총 설계 및 이온광학 결상계 개발 - Low Voltage STEM-EELS 측정 기술 개발 - 하전입자 광학계 aperture 제작을 위한 초정밀 가공기 개발 2. 하전입자와 신물질 상호작용 연구 분야 - 전자현미경 내 투과모드 이미징을 통한 시간에 따른 산화물 구조 변화 - 전자빔 기반 나노구조 물성 측정 원천 기술 제안 - 유기단분자막 제작용 LB-trough 구축 3. 나노형상 3차원 측정기술 분야 - 실시간 분광타원계측기(RTSE) 측정표준 확립 및 RTSE 교정용 CRM 10종 개발 - 나노 생체박막 정량측정기술 개발 - Cross-sectional 3차원 AFM(이하 x3DAFM) 개발 - 광유도력 나노탐침현미경(OIFM) 기술개발 - UV/vis 다파장 레이저 multiplex 고속표면 측정기술개발 4. 나노물성 측정기술 분야 - 단일 원자 및 단일 전자 스핀 물성 측정 기술 개발 - MOKE 현미경 시스템 구축 및 약 50 nm 공간 분해능 구현 - FE-SEM XY stage 개선, 축 중심 조정 및 기계적 진동 저감 기대효과 (응용분야 및 활용범위 포함) ◦ 국내 관련 산업체에 나노융합현미경 시장의 조기진입 및 선도할 수 있는 기술 수준 향상 도모 ◦ 대표적 나노 소재산업인 반도체 및 평판디스플레이 산업을 위한 계측 및 검사 장비 산업의 창출 지원. ◦ 나노수준 새로운 현상 규명 및 나노 신소재 개발에 활용하여 원천기술 개발에 기여 ◦ 개발 기술들의 지적재산권 확보 및 기술이전을 통한 첨단나노측정장비산업 활성화 도모. ◦ 측정표준확립: RTSE 표준장치 제작 및 다파장 굴절률 측정표준 확립 ◦ CRM 개발: RTSE 교정용 CRM 10종 개발 (출처 : 한글요약문) |
