| 초록 |
□ 연구개발 목표 및 내용 ○ 최종 목표 압전 센서 및 에너지 하베스팅 소자용으로 활용 가능한 결정 배향형 압전 박막 소자를 개발하는 것이다. ○ 전체 내용 본 연구는 맞춤형 틀입자(seed) 제조, 유연한 결정 배향된 압전 박막 제조, 역학적 에너지 수확 특성 분석의 단계로 이루어다. 결정 배향을 위한 seed를 제조하고, 이를 이용하여 결정 배향형 압전 박막을 제조하였다. 제조된 박막의 결정 구조, 전기적 특성 분석을 통하여 결정배향 효과를 분석하였다. □ 연구개발성과 본 과제의 연구 내용은 압전체 박막의 결정배향을 위한 기판 소재개발 및 압전 박막의 특성을 개선하는 방법으로 전통적인 조성변화 연구방법에서 벗어난 새로운 접근법을 제안하였다. □ 연구개발성과 활용계획 및 기대 효과 본 과제에서 제안하는 “결정 배향법을 이용한 고성능 압전 박막 제조 기술”은 기존의 단결정 기판을 이용하여 고성능의 압전 박막을 제조하는 것과 비교하여 저 비용으로 고성능의 압전 박막을 제조 할 수 있는 방법이고 대면적 증착이 가능하기 때문에 산업적으로도 유용한 기술이 될 것으로 기대한다. 세계 각국의 환경 규제 정책에 대응하는 우수한 성능의 친환경 압전 박막 소자의 원천기술을 확보할 수 있다. (출처 : 요약문 2p) |
