| 초록 |
연구의 목적 및 내용 다수의 유기 나노 소자 분석 및 공정장비들을 초고진공 상태에서 일체형으로 통합한 차세대 융복합 in-situ 나노분석 시스템을 설계, 개발 하며, 기능성 유무기 물질의 물성분석 및 나노전자재료의 기초물성 평가시스템을 구축 연구개발성과 - 최첨단 분석기기 설치 및 각 분석기기의 연동을 통한 종합 물성분석 시스템 구축 완료 - 초고진공 샘플 이동 시스템 및 박막 공정 장치와 분석 장치의 연동 시스템 구축 완료 * 분석장비(7) : UHV-STM, Micro-XPS/UPS, NAP-XPS,LEEM/PEEM, ARPES, Raman, Probe station * 공정장비(7) : RF/DC ion sputtering, PE-ALD, CVD, LTS Thermal evaporator, PLD, Pattern generator - SCI 논문 114편 출간 완료 - 특허 (국내 14건, 국외 7건) 출원 및 등록 (국내11건, 국외 1건) - 기술이전 (1.3억, ㈜셈텍) - 2016년 국가연구개발 우수성과 100선 선정(순수기초인프라분야) 연구개발성과의 활용계획(기대효과) - 샘플을 외부환경과 차단된 초진공 상태에서 분석 장비 간 이동을 통해 측정하고 공정과 융합시켜 원천기술 확보 및 개발기간 단축 - 연 생산액 30조원의 고부가가치를 가진 전자소자 산업계의 생산단가 절약,차세대 소자개발 가속화 및 국제경쟁력 강화 - 국내에서 개발된 유기 나노 소자의 해외 시험·분석 의뢰에 의한 첨단 기술 및 정보의 유출 방지로 미래시장 선도 및 우위 선점 ( 출처 : 요약문 3p ) |
